有機玻璃的反應離子刻蝕機理PMMA的反應離子刻蝕就是有機玻璃在氧等離子體中的氧化分解過程。在只考慮穩(wěn)態(tài)產(chǎn)物和外部的放電參數(shù)時，氧化機理可以表示為如下宏觀的反應模型。在這個反應模型中，反應產(chǎn)物可以相互間轉(zhuǎn)化。產(chǎn)生氧活性粒子的氣相激活過程和提供能量的離子轟擊過程是相關的，這兩者都受濺射功率密度的影響，與濺射功率呈線性關系，因為這兩個反應中等離子體的激活過程是***重要的。由此可知，反應離子刻蝕PMMA的過程中，氧活性粒子是氧化刻蝕的主要活性粒子，同時離子碰撞PMMA表面對刻蝕反應也較關鍵。
　　功率和有機玻璃的反應離子深刻蝕氣壓對刻蝕過程很重要，提高功率使電子密度增加，氣體中的氧活性粒子濃度變大，因而PMMA更快分解；同時離子能量增大，通過離子碰撞，加速表面化學反應，反應產(chǎn)物濃度會提高，離子碰撞也會促進反應產(chǎn)物的解吸。氣壓升高會提高氧氣濃度，另一方面會使電子密度降低，氧活性粒子濃度則取決于這兩個因素的疊加結(jié)果。隨氣壓升高，離子能量降低，使吸附氣體表面密度更高，同時對化學反應的促進作用減弱?？涛g工藝參數(shù)的影響。刻蝕氣壓的影響實驗中保持功率和氣體成分不變，工作氣壓p從1.33Pa變化到9.98Pa，考察了氣壓變化對刻蝕速率等的影響。

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